電気・電子機器 / コンピュータ / UV LED 露光装置

2015/07/30 / 電気・電子機器 / 

UV LED 露光装置

UV-KUB

UV LED 露光装置 - UV-KUB|ビーム(株)
単色全面露光、線幅10nm以下のUV LED 露光装置。

特徴は、
①コールドUV露光、
②リアルタイム温度コントロール、
③強照度露光、
④長寿命LED:10,000時間以上、
⑤ウォーミングアップ時間不要、
⑥使いやすいタッチパネル操作、
など。

主な仕様は、
露光方式:コンタクト、プロキシミティ、
ウエハサイズ:4インチ、解像度:2μm、
露光波長:365nm±5nm/385nm±5nm、
照度:25mW/cm2±10%(4インチウエハ)、
分離中の加熱:<1℃、
サイクル記録回数:10、
寸法:幅260×奥行き260×高さ260mm、
重量:8.2kg、
など。

会社名:ビーム(株)
所在地:東京都町田市小山ヶ丘2-2-5

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 紫外線 LED 露光機

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