機械装置・機器 / 位置決め装置と間欠駆動機器 / 2軸チルトステージ

2015/07/30 / 機械装置・機器 / 

2軸チルトステージ

MQ-2TXYD

2軸チルトステージ - MQ-2TXYD|(株)メステック
ピエゾアクチュエータを内蔵し、オープンループ振れ角3mradを発生する2軸チルトステージ。

特徴は、
①θx/θyの2軸駆動、
②ミリ秒の高速応答と高分解能を実現、
③光学ミラーに精密制御、レーザシステム/スキャニング(走査)装置などに使用可能、
④用途に合わせたカスタマイズなどにも対応可能、
⑤ひずみゲージを内蔵した『MQ-2TXYDS』も用意、
⑥駆動電圧:0〜150V、
⑦オープンループ分解能:0.02μrad、
など。

会社名:(株)メステック
所在地:埼玉県和光市白子2-17-2

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